車(chē)間內(nèi)潔凈區(qū)按工藝房間生產(chǎn)類(lèi)型來(lái)劃分并設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)，其中制絨清洗區(qū)臭氧濃度控制在5ppb以內(nèi)，制絨機(jī)下料區(qū)臭氧濃度控制在5ppb以內(nèi)，PECVD上料區(qū)臭氧濃度控制在5ppb以內(nèi)，潔凈區(qū)排風(fēng)一般采用止回閥防止室外空氣倒灌。

尚誠(chéng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，根據(jù)客戶需求，基于提供的各項(xiàng)數(shù)據(jù)，最終提交了令客戶滿意的解決方案：高效除臭氧二合一凈化方案，利用高效網(wǎng)與除臭氧濾網(wǎng)的相結(jié)合......